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MEMS技术研究室简介
2017-05-27 18:34   审核人:

MEMS技术研究室简介


研究室主任 李新,副教授(博士)

研究室成员 揣荣岩,副教授(博士);关艳霞,副教授(博士);于慧,讲师; 刘斌,助教。

主要研究方向

基于MEMS技术的微传感器研究;功率电子器件研究;大规模集成电路设计。

近3年科研情况

承担教育部春晖计划项目、辽宁省自然科学基金项目、辽宁省教育厅一般项目和重点实验室项目各1项,并承担了哈尔滨工业大学863项目和国家自然科学基金项目的部分研究任务,同时承担微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室开放课题1项和高等学校本科教学质量与教学改革工程-创新性实验试点项目1项。发表学术论文20篇,其中SCI收录2篇,EI收录4篇;培养硕士研究生31名,其中已获得硕士学位14名。

近年来,和日本群马大学生产系、东北大学化学系、哈尔滨工业大学微电子中心、大连理工大学微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室、沈阳仪表科学研究院国家传感器工程中心等单位进行了深入合作,承担了多项研究课题,设计与制作了多种生物芯片、湿敏元件、气敏元件和力敏元件,研究工作得到了合作单位的认可。多名青年教师在攻读硕士和博士学位期间,作了大量相关研究工作,发表了多篇高水平文章,受到国内研究专家认可。


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